设备商起诉中国专利局，波及中微半导体
EET电子工程专辑 2020-04-24 15:20:12
据《科创板日报》报道，中国法院网日前发布了一份公告，显示中微半导体设备（上海）有限公司作为第三人，与威科仪器有限公司存在行政专利纠纷。
根据法院起诉状副本显示，该案由北京知识产权法院受理，起诉方是威科仪器有限公司，就此前一项专利行证纠纷对国家知识产权局、中微公司发起行政专利诉讼。法院已依法向中微公司公告送达起诉副本、举证通知书、当事人参加诉讼须知、原告证据以及开庭传票，将于2020年9月10日下午14时开庭审理此案。
截至发稿前，中微公司未对该案予以置评。
根据国际电子商情报道，这起诉讼可以追溯到2017年的一起专利无效案。
2017年5月，中微半导体向国家知识产权局申请对威科仪器的专利进行无效宣告，而国家知识产权局于2017年9月开始审理，并于2018年1月决定由威科仪器申请的“通过化学汽相沉积在晶片上生长外延层的无基座式反应器（专利号 018225507.1）”发明专利无效。
威科仪器对国家知识产权局审理的专利无效决定感到不服，并向北京知识产权法院提起行政诉讼，该案于2018年就被受理，却决定2020年9月10日下午14时才开庭审理。
据科创板日报报道，威科仪器即是维易科（VECO，纳斯达克上市美资公司），后者主要从事薄膜加工设备的研发、生产和销售，并且在MOCVD 设备领域是中微公司的主要竞争对手之一。而《电子工程专辑》近日也报道了中微公司5纳米等离子体蚀刻机用于台积电的消息，在中微2019年财报中，也提及其MOCVD产品线，并表示作为全球氮化镓基LED MOCVD设备领先厂商，中微公司已经积累了MOCVD设备的技术和开发经验。目前，用于Mini LED生产的MOCVD设备正在积极研发中，中微公司同时也在开发制造Micro LED和功率器件的MOCVD设备。
本次“化学气相沉积装置”专利涉及的MOCVD设备为生产半导体器件如发光二极管（LED）芯片的核心设备，占据半导体行业价值链的重要位置，对产业发展具有重要影响。
2017年，中微公司曾与维易科产生过专利纠纷。维易科以侵犯其专利、未经维易科同意向中微有限及其客户供应基片托盘为由，在纽约东区法院对 SGL Carbon， LLC 及 SGL Group SE提起专利侵权之诉。当时纽约东区法院作出禁止 SGL 向中微公司及其客户供应基片托盘的禁令。
中微方面则在2017年7月，以维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司（外国法人独资，维易科全资持有）侵犯专利权为由向福建省高级人民法院提起诉讼。指控其TurboDisk EPIK 700型号的MOCVD设备侵犯了中微的基片托盘同步锁定的中国专利，要求其停止侵权并主张上亿元侵权损害赔偿。
中微起诉后，上海维易科以及一位自然人均对该涉案的中微专利向专利复审委提起无效宣告请求。但专利复审委最终认定中微专利有效，2017 年12月，福建省高级人民法院裁定上海维易科立即停止一切侵权行为。
2018年，维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司于2018年就专利权人中微半导体设备（上海）有限公司的实用新型专利权（专利号：ZL201220056049.5）再次提出的无效宣告请求，国家知识产权局原专利复审委员会经审理作出审查决定，在修改后的权利要求书的基础上维持中微半导体专利权有效。
在国家知识产权局作出决定后，中微公司与 SGL、维易科曾签订《和解协议》，三方均撤回相关诉讼及未决的专利复审请求。当时《电子工程专辑》也做出了报道，维易科的董事长兼首席执行官约翰·皮勒还就此事评述道：“我高兴地报告大家，我们已经达成了一个共同商定的对现存知识产权纠纷的和解方案。这使我们的MOCVD业务恢复正常运营。”
中微董事长兼首席执行官尹志尧博士当时也表示：“竞争对手们基于全球客户的利益该如何解决好知识产权事宜，这次和解是一个很好的例证。”
如今这个专利行政纠纷再起波澜，或许与中微公司登陆科创板有关，后续进展如何，电子工程专辑也将持续关注。
责编：Luffy Liu