$天奈科技(SH688116)$ 看到有朋友提到碳管在半导体中的应用情况，简单补充下。碳管在半导体里的应用主要是解决静电屏蔽和特殊导电性问题，像光刻机中的主工作台（我们国内还没解决，基本靠进口，一个做研发的朋友讲大概23年底国产能上量），清洗刻蚀设备中的探头等部件要用，高温离子注入机...