1、MEMS:指微机电系统,是将微电子技术与机械工程融合到一起的、操作范围在微米范围内的一种微细加工工业技术。2、红外MEMS芯片:是指非制冷红外热成像MEMS芯片,采用MEMS技术加工制成,包含MEMS传感器能感应红外辐射的芯片元件。3、像元:影像单元,亦称像素或像元点...