半导体配套设备：
北方华创:半导体设备平台(刻烛+薄膜沉积+清洗+热处理等)
中微公司:(刻烛+薄膜沉积+量测)，刻烛龙头
拓荆科技:薄膜沉积龙头，薄膜沉积与刻烛业务市场相当
芯源微:涂胶显影龙头，同时布局清洗
盛美上海:清洗+镀铜龙头，同时布局热处理、涂胶显影、PECVD
华海清科:唯一一家能够量产CMP设备
长川科技：半导体测试设备A股营收第一。
精测电子与中科飞测:在量检测领域各有专长，错位竞争差异互补，有望带动国产量测设备不断突破。
半导体材料：
彤程新材：ArF光刻胶已批量出货，预计多支ArF/ArFi产品将在下半年逐步实现量产导入
南大光电：公司目前有三款自主研发的ArF光刻 胶产品通过了客户使用验证
容大感光：95.28%的收入来自PCB光刻胶，仅有3.71%的收入来自显示用光刻胶及半导体光刻胶。
晶瑞电材：公司共拥有5台机相关设备 分别用于ArF等产品的研发以及量产
上海新阳：公司ArF产品还在验证中 KrF产品已有销售
抛光垫：鼎龙股份
靶材：江丰电子
洁净室：亚翔集成
掩膜版：清溢光电
零部件：新莱应材，富创精密
光刻机概念：
张江高科:持股上海微电子10%的股份。
奥普光电:长春光机所旗下企业。
茂莱光学:公司为光刻机光学系统提供光学器件。
波长光电:公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。
东方嘉盛:公司提供光刻机寄售维修服务。
蓝英装备:公司精密清洗设备客户包括光刻机制造企业的合资(参股)公司。
腾景科技:公司合分束器项目应用于光刻机光学系统。
炬光科技:公司为半导体光刻应用领域提供光场匀化器。
晶方科技:公司下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂。
美埃科技:公司为上海微电子提供光刻设备所需的洁净过滤产品。
国林科技:产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。
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