1200多万在离子机型里价格算低的

关于这类机型价格，目前没查到具体资料，只能推断。下图山东大学6寸碳化硅用高温高能机招标信息，6寸碳化硅用高温大束流机价格没查到信息，按高温高能机机型7折，大概1500万一台，上述推断基于进口机型，国产碳化硅高温大束流机型大概在1200万内。XOI注氢机能量大都在100Kev以下，按能量分类属于低能大束流，又不同的XOI异质集成材料，工艺过程不完全一样，有些需低温环境，比如温度在-20℃左右环境中进行，有些在200℃以上环境中进行，即低温模块或者高温模块根据不同加工环境是需要的，以此来推断国产6寸低能大束流注氢机1200万一台，8寸机型1500万一台是比较合理的。