$万业企业(SH600641)$ 欧欣团队采用基于"万能离子刀"的异质集成技术,通过氢离子注入结合晶圆键合的方法,制备了高质量硅基钽酸锂单晶薄膜异质晶圆。凯世通氢离子注入机已通过新傲科技SOI晶圆制作工艺验证,并且电话会上李勇军明确了离子注入机在化合物半导体方向上的应用,即XOI万能离子刀技术。上海微系统及中国电科装备集团(中科信属于该集团)已被美帝纳入黑名单,简而言之,只有凯世通氢离子注入机可用。