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目前看专利是有，去年会场参展只是宣传海报和PPT，是否送验证机，不知道了，即便送了，验证周期长，还有失败风险，况且芯嵛的技术路线不是最优，或许是规避凯世通相关专利，不得已采取的现在的技术路线，这些只是猜测。
从专利内容看，其一，IHC源确实不如RF源，缺点比较多，包括核物理研究以及医用质子治疗仪基本是RF源，就医用质子治疗仪来说前面部分和离子注入基本一样，只是引出的束流能量和轰击的目标不一样，前者轰击的是晶圆，后者轰击的核素靶，其二，关于产生的氢离子不知是笔误还是本身就是这样，专利内容是H+,这个又和核物理应用以及医用质子治疗方面有区别，后者是产生H-，不管后面加速器是串列式还是回旋式，都是采取剥离膜剥离电子，转换成质子即H+，如果直接用H+，在经加速器加速引出的束流品质不太好控制。芯嵛的技术路线后续还得观察效果。
$万业企业(SH600641)$以我的了解,IHC源性能非常一般，离子密度也不好控制, RF可靠性更好，也是目前主流技术，不仅仅离子机，包含反应离子刻蚀机和离子去胶机，也是都利用射频产生等离子！