中芯集成先锋中试线项目主要内容是12英寸硅基功率器件包括IGBT，后续大约还有200亿左右投资的量产线。既然是国产替代中试验证线，至少工艺对标国际先进水平，否则验证线的建设毫无意义。
去年英飞凌用最新工艺为韩国现代制作的动力电池用IGBT模块出现瑕疵。该工艺关键在于用铝离子注入工艺代替氮离子注入工艺，因为铝离子相较之前的氮离子所制作的IGBT模块具有更好的性能，结果却是失败。以英飞凌业界地位，可见铝离子注入工艺要求是相当的高。
根据有限的信息（见所列的截图），我的推断是中芯先锋中试线项目应该有铝离子注入工艺环节的验证，凯世通已提供离子注入机。
理由如下：
铝离子注入工艺关键在于束流大小和束流品质。产生铝离子的材料为固体材料，一般用的是AIN（氮化铝），氮化铝具有强腐蚀性。铝离子产生需要用到辅助气体，一般是BF3（三氟化硼）。从截图能看到产生离子的材料有气态和固态，并且固态材料储存要求是甲类库，考虑到AIN具有强腐蚀性，个人推断固态材料为AIN
从截图关于三氟化硼的描述：离子注入工序要用到BF3，废气主要为未反应废气。对于磷烷的描述是作为反应气体和掺杂气体，用于化学气相沉积和磷离子注入工序。从以上不同描述，其实就已经明确了BF3并非是作为硼离子注入工艺所需产生硼离子的材料，而是作为辅助气体产生铝离子的用途。
综上情况，我的推断是中芯集成先锋中试线项目有铝离子注入工艺验证环节，凯世通铝离子注入机已进入验证线。
