汉钟精机(SZ002158)光伏真空泵业务仍将是公司中短期的主要业绩增量；半导体真空泵在清洁和严昔制程均有小批量供货，下游客户包括联电/力积电/青岛芯恩/江苏和舰等（中国半导体真空泵市场空间约100亿元，国产化率不到5%）