中电科电子装备集团有限公司（以下简称“电科装备”）整合了中国电科旗下2所、45所、48所的优质资源，形成了以光刻机、化学机械抛光（CMP）、离子注入机、电化学沉积设备（ECD）等为代表的微电子工艺设备研究开发与生产制造体系，以集成电路关键装备技术为核心，建立材料加工、芯片制造及封装组装...