核心工艺TSV：晶方科技、华天科技、大港股份、赛微电子、安集科技、盛美上海、亚光科技、天承科技、中巨芯、芯碁微装、中微公司、上海新阳等海力士代理：香农芯创上游材料：华海诚科、联瑞新材、雅克科技上游工具：概伦电子技术探索：国芯科技配套相关：兴森科技、万润科技