根据密封方式的不同，微焦点X射线管分为开放式（开管）和封闭式（闭管）两种，对比情况如下表所示。闭管X射线源中，阴极与阳极/靶都封闭在真空管内。在使用时无需抽真空，闭管方式的X射线管高压一般在30~150 kV之间，靶功率可以做到75 W，使用生命周期在3年左右，常用于集成电路及电子制造、新能源...