北方华创的设备到底在国内啥水平，RT

1）刻蚀设备

电感耦合等离子体刻蚀机（ICP）：原研迭代搞了十多年，国内第一，公司多晶硅及金属刻蚀系列 ICP 设备实现规模化应用，完成了浅沟槽隔离刻蚀、栅极掩膜刻蚀等多道核心工艺开发和验证，助力国内主流客户 技术通线，已实现多个客户端大批量量产并成为基线设备。截至 2023年底，北方华创 ICP刻蚀设备已累计出货超 3200腔。

电容耦合等离子体（CCP）：22年才开始做，应该还处于早期的仿制吸收阶段，参考了TK和LAM的差不多二三位的水平，进展倒是挺快截至 2023 年底，北方华创 CCP 刻蚀设备已累计出货超 100 腔。

2）薄膜沉积设备

PVD ：原研搞了十多年，国内第一。截至 2023 年底，。截至 2023 年底，集成电路领域铜 （Cu）互连、铝垫层（Al Pad）、金属硬掩膜（Metal Hard Mask）、金属栅（Metal Gate）、硅化物（Silicide）等工艺设备 在客户端实现稳定量产，成为多家客户的基线设备，公司已推出 40 余款 PVD 设备， 累计出货超 3500 腔。

CVD：原研十多年，CVD比拓荆弱一些，ALD各有优缺，第二吧，布局拓展了 DCVD 和 MCVD 两大系列产品。针对介质和金属化学气相沉积关键技术需求，攻克了进气系统均匀性控制、压力精确平衡、双频驱 动的容性等离子体控制、多站位射频功率均分控制等多项技术难题，实现金属硅化物、金属栅极、钨塞沉积、高介电常数 原子层沉积等工艺设备的全方位覆盖，关键技术指标均达到业界领先水平，赢得客户高度评价。截至 2023 年底，北方华创 已实现 30 余款 CVD 产品量产应用，为超过 50 家客户提供技术支持，累计出货超 1000 腔。

外延（EPI）目前进展国内第一，截至 2023 年底，北方华创已发布 20 余款量产型外延设备，累计出货超 1000 腔。

3）立式炉

这个无疑问第一，就不说了。。。