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武汉新芯公布HBM项目招标,拟新增设备17台套,拟实现月产出能力≥3000片(12英寸)
HBM核心工艺是TSV通孔刻蚀,也是整个设备成本的大头,这个国内也就北方华创中微公司做的了。

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