(一)光刻机(1)整机主要标的:张江高科、东方明珠、东方电气、奥普光电(2)组件主要标的:蓝英装备、苏大维格、京华激光、福晶科技、波长光电、赛微电子、电科数字、晶方科技、同飞股份、海立股份、联合精密(二)光刻胶