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我认为5nm肯定会面世,只是不会是2020年那么早。可靠的5nm工艺可能会在2023年左右出现。
但芯片制造商比较乐观,他们认为5nm的应用只是时间早晚问题,正在重新评估5nm节点的晶体管技术,并重新修订路线图。根据之前的路线图,FinFET可以下探到7nm,然后寿终正寝,行业需要在5nm节点上选择一种新型的晶体管技术。而且,5nm的唯一选项是横向纳米线FET,也被称为围栅FET。这种材料静电性能很好,只是制造困难而且成本高昂。
IMEC工艺技术副总裁兼逻辑器件研发项目负责人Aaron Thean也表示“5纳米是一个昂贵的节点”。要启用5nm,半导体行业需要在晶圆技术上取得新的突破。光刻技术面临新的挑战,互连技术更是成为进军5nm的最大障碍。
而5nm以后,摩尔定律是否终结,哪些新工艺将诞生,就是更难以预测的事情了。未来,新的材料、新的结构、新的思想,一切都将迎来革命,而革命必将淘汰一些东西、洗刷一些东西、诞生一些东西。