OLED面板制作过程大致可以分为背板段、前板段以及模组段三道工艺。其中,前板段的高精度金属掩膜板蒸馏工艺(FMM)是整个工艺环节的核心,也是OLED发光器件的制备过程。背板段工艺通过成膜、曝光、蚀刻以形成LTPS(低温多晶硅)驱动电路,其为发光器件提供点亮信号以及稳定的电源输入。...