华工科技发布碳化硅检测灵睛Aeye系列新品,包括国产碳化硅衬底外观缺陷检测智能装备、碳化硅晶圆关键尺寸测量智能装备。作为半导体封测工艺中不可或缺的关键工序,晶圆切割的质量与效率直接影响到芯片的质量和生产...