课题的主要研究内容包括:
- 12英寸晶圆用大尺寸辅热型氮化铝静电吸盘的结构设计。
- 陶瓷材料热学和电学性能的协同调控。
- 辅热型静电吸盘的制造技术。
- 静电吸盘性能的测试表征技术。
该课题的实施有望突破多项关键技术,实现高温度均匀性和高吸附均匀性氮化铝静电吸盘样件的制备,并完成在半导体制程模拟装置中的示范应用,建立中试生产线,为国产化高性能氮化铝静电吸盘的产业化应用和发展奠定基础。
这项工作对国产替代的影响是显著的,因为目前全球静电吸盘市场主要被美日厂商垄断。旭光电子通过承接这一课题,有望推动国产静电吸盘的产业化进程,减少对外国厂商的依赖,增强国内半导体产业的自主可控能力。
同时,旭光电子在氮化铝粉体的研发和生产上已取得重要进展,成功实现了国产替代,并成为国内首家具备全产业链商用氮化铝粉体—基板—结构件—HTCC与高端功能器件产品量产能力的企业。这不仅提升了公司在氮化铝行业的竞争力,也为国内相关产业提供了重要的材料支撑,有助于推动整个产业链的国产化进程。#PCB板块再度活跃,景旺电子2连板# #英伟达深夜暴涨,市值重回3万亿#