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$旭光电子(SH600353)$ 半导体静电吸盘被美日垄断,旭光电子欲实现国产替代 旭光电子的孙公司宁夏北瓷新材料科技有限公司收到了中华人民共和国科学技术部下发的国家重点研发计划课题任务书,该课题名称为“氮化铝陶瓷组分设计及大尺寸辅热型静电吸盘制造和应用”。这个课题的主要目标是针对我国半导体行业对高精度静电吸盘国产化的迫切需求,开展相关的研究工作。
课题的主要研究内容包括:
- 12英寸晶圆用大尺寸辅热型氮化铝静电吸盘的结构设计。
- 陶瓷材料热学和电学性能的协同调控。
- 辅热型静电吸盘的制造技术。
- 静电吸盘性能的测试表征技术。
该课题的实施有望突破多项关键技术,实现高温度均匀性和高吸附均匀性氮化铝静电吸盘样件的制备,并完成在半导体制程模拟装置中的示范应用,建立中试生产线,为国产化高性能氮化铝静电吸盘的产业化应用和发展奠定基础。
这项工作对国产替代的影响是显著的,因为目前全球静电吸盘市场主要被美日厂商垄断。旭光电子通过承接这一课题,有望推动国产静电吸盘的产业化进程,减少对外国厂商的依赖,增强国内半导体产业的自主可控能力。
同时,旭光电子在氮化铝粉体的研发和生产上已取得重要进展,成功实现了国产替代,并成为国内首家具备全产业链商用氮化铝粉体—基板—结构件—HTCC与高端功能器件产品量产能力的企业。这不仅提升了公司在氮化铝行业的竞争力,也为国内相关产业提供了重要的材料支撑,有助于推动整个产业链的国产化进程。#PCB板块再度活跃,景旺电子2连板# #英伟达深夜暴涨,市值重回3万亿#