$华特气体(SH688268)$ $中泰股份(SZ300435)$ $中芯国际(SH688981)$ 半导体的血液，中泰电子特气领域，公司已为英特尔、三星、美光、台电等芯片巨头的多个电子气项目提供数十套高致密性板翅式换热器。除核心设备以外，公司已具备高纯氮电子气的成套流程和工艺，并有成熟成套项目在运行中；同时公司也已具备制取氪氖氙氦等稀有气体的技术，成为国内少数具备制取该类气体能力的公司之一