1)目前已上市公司包括:北方华创(平台型设备企业,产品涉及刻蚀、薄膜沉积、氧化扩散、退火、清洗等)、中微公司(刻蚀设备快速增长)、芯源微(涂胶显影国内龙头,前道track 产品收入及订单快速放量)、至纯科技(布局湿法设备,提供28nm节点的全部湿法工艺设备)、...