回复@思无应答: 离子注入机占逻辑或者存储芯片设备投资的比例是多少?
每家情况不一样。例如中芯国际12英寸28mm逻辑芯片，每1万片新增月产能对应20台离子注入机。今年1月拿到的6.5亿元离子注入机订单大概对应20台。2万片产能晶圆厂设备投资大概占10%左右。而合肥存储工厂1万片18mm存储芯片产能需要用到40台离子注入机。整体而言，离子注入机在796~10%左右。2万片逻辑芯片整体设备投资在100亿~150亿，离子注入机大约是10亿元，公司主要提供的是大束流设备，占离子注入机的60%。$万业企业(SH600641)$//@思无应答:回复@思无应答:$万业企业(SH600641)$ 很多卖方研报还在照抄N年前的数据，认为离子注入的价值比重只有4%左右，市场空间不够大，这其实是很大的误读，真实情况是制程越先进，纳米数越低，对晶圆表面平整度和导电性能要求越高，需要用到的离子注入工序越多，可以预见的是，随着国内晶圆厂向先进制程跨越的推进，离子注入机的价值比重将进一步攀升。