多重曝光的方案,增加光刻清洗次数,光刻胶材料和特种气体用量,那么是不是也就是增加了更多的废液废气污染物?半导体产业因为技术成功的增量,是不是也要带着相关环保设备的增量?毕竟集成电路产业的污染是很重的,各种重金属和稀有气体。...