在手订单较为充足。截至2021 年9 月末公司合同负债7.32 亿元，较2020 年年末增长36.31%，存货为10.29 亿元，较2020 年年末增长61.03%，均反映出下游半导体和光伏需求旺盛。今年前三季度，半导体相关订单同比增长约100%，光伏相关订单同比增长约50%。下游晶圆制造等新项目建设为公司提供更多发展机遇。
CAPEX 业务核心下游半导体、光伏领域积极建厂扩产，为公司提供大量新增订单。从订单来看，公司CAPEX业务订单饱满，已排产至2022 年12 月份。其中前三季度半导体相关订单占比约40%，较上年同期提升显著，与下游景气度相一致；光伏相关订单占比超20%，为公司第二大收入下游。
短期看，公司CAPEX 业务持续火爆，订单高速增长，为其短期内业绩提供良好支撑；中长期来看，建厂高峰后，MRO、高纯特气业务将为公司带来稳定、大量的现金流，驱动其长期增长。
全年业绩预计1.55-2亿，明年继续100％增长，22年业绩预计3-4亿，给40pe，市值120-160亿。