公司进军半导体级臭氧工艺设备:臭氧湿法清洗工艺在主要28nm-14nm先进制程工艺,主要是氢氟酸刻蚀后清洗(需要配合12英寸单片式清洗设备),用量较大,可有效解决水相中氧化物污染和金属污染。目前公司已经掌握核心技术,将泵+...