作者：铝镁合金

引用：

🔶🔶供应链方面对标情况
🇯🇵日系东京电子设备对标主要包括：
➡东京电子CCP刻蚀（中微公司）；
➡日立/东京电子的炉管（北方华创、盛美）；
➡日立/东京电子的原子层沉积（微导纳米，拓荆科技）；