这么说吧，$南大光电(SZ300346)$ 没有缺陷检测设备，28nm以下的还过得去，再往上就暂时干不了。而$上海新阳(SZ300236)$ 和$中芯国际(SH688981)$ 共建的Arf光刻胶设备是齐全的，所以在28nm以上的进度肯定比其他几家要快很多。

容大没有半导体光刻胶，南大的光刻胶缺少缺陷检测设备。

只要是半导体都要用光刻机和光刻胶