$万业企业(SH600641)$ 北京华卓精科。华卓精科成立于2012年，主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化。目前产品包括光刻机双工件台及其衍生产品超精密运动平台、激光退火设备、晶圆键合设备等。
由北京华卓精科联合清华大学研发的双工件平台，已经在技术及制造上完全自主研发，并在技术及工艺上已经接近ASML的水准。据报道，这款双工件平台具有1.8纳米的精确性，而在高速运转时，其精确性可达2纳米。这项技术的成功，不但将彻底结束ASML在“双工件平台”领域的统治地位，更将为国内的EUV光刻机画上一个圆满的结局。
万业企业：房地产+光刻机
互动易：万业企业作为上海半导体装备材料基金的主要LP，通过基金入股华卓精科，布局光刻机双工台核心设备 有强烈预期差。