$万业企业(SH600641)$ 离子注入机：国产化率较低，看好国产替代加速在自主可控驱动下，集微咨询预计中国大陆未来5 年将新增25 座12英寸晶圆厂，总规划月产能将超过160 万片，对半导体设备的需求将维持高位。离子注入技术壁垒仅次于光刻、刻蚀、薄膜沉积，我们中性预估仅2022-2026 年中国大陆新增12 英寸晶圆产能扩产，对离子注入设备的需求将达到520 亿元。离子注入机为前道国产化率最低的环节之一，2022 年1-10 月份华虹无锡和积塔半导体招标中国产化率仅为3%，国产替代空间较大。在本土供应商中，凯世通聚焦价值量占比较高的低能大束流和高能离子注入设备，中信科在中能领域也具备一定竞争力。展望未来，基于离子注入设备较强的通用性，我们看好国产设备商由1 至N 快速放量。

地产托底，离子注入机国产替代，等起飞$中晶科技(SZ003026)$ $大港股份(SZ002077)$