目前除了清洗遥遥领先，还有电镀铜很牛，在前道和封装都有应用，其他炉管等。沉积pecvd已经有客户试用，估计是海外客户。盛美走平台化优势的一点是母公司总部在加州，可以聚集一些研发力量，这是其他国产设备企业不具备的