泛半导体直写光刻设备业务增长96%,营收大概2个亿,占比从14%增加到25%。
省重大产业创新计划----进展缓慢啊:
项目投资4.6亿,研究阶段待项目研制后可填补国内空白、替代进口等方面的效果或目标,达到国际先进水平。预计每年可新增产值6-10亿元,税收1-2亿元,带动直接就业人口300人,集聚关联企业5-10家。
2021-2024年总投入4.6亿,
通过自主研发的八大核心技术利用直写光刻技术原理,攻克高端光刻领域的技术自主可控和国产替代。在现有核心技术的基础上提升其技术广度和高度,从而拓展研发出不同领域的系列产品。