四重光刻曝光工艺增量最大的材料之一就是掩膜版……严格来说高端制程的掩膜版基本都是FAB厂自己做（不想泄露工艺秘密），然后把28nm及更低制程的掩膜版外包部分出去。对于所有掩膜版厂家来说，最核心的是上游材料：石英基板。中国建材总院利用多晶硅生产中的废弃物SiCl4为原料、以氯碱化工的...