科创板芯片设备、激光雷达、自动化设备等

688072拓荆科技、688120华海清科、688082盛美上海(半导体设备)，688337普源精电(测量器件) ， 688290景业智能(特种机器人)， 688170德龙激光(精密激光)， 688320禾川科技(自动化)， 688326经纬恒润(电子产品)， 688048长光华芯(芯片器件)， 688052纳芯微(芯片)， 688348昱能科技(逆变器)， 688281华秦科技(特种材料)， 688337普源精电(测量器件) ， 688048长光华芯、688167炬光科技、688127蓝特光学（激光雷达芯片）。