光伏行业的高纯工艺介质设备主要在光伏工艺过程中的硅棒生长环节、硅片掺杂和气相沉积环节，目前以TP和HJT为主要技术路线，这两种技术都要增加掺杂和气相沉积工艺，所以未来光伏的高纯工艺介质设备仍有好的前景。