目前国内有三条EUV光刻机研发路线，饱和式研发，不计成本。1、正统路线。也就是ASML的EUV光刻机路线。华为+上海光机所+宇量昇，是正统国家队，走500W LPP光源+复杂镜头组的技术路线。现在进度最快，技术复杂度相对最高，特别是超高功率、超高重复频率二氧化碳激光器技术难度非常高。进度保密...
这…$东方钽业(SZ000962)$