中微公司公布国际专利申请:“一种晶圆处理方法及用于晶圆处理的刻蚀-沉积一体设备”

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证券之星消息,根据企查查数据显示中微公司(688012)公布了一项国际专利申请,专利名为“一种晶圆处理方法及用于晶圆处理的刻蚀-沉积一体设备”,专利申请号为PCT/CN2023/135062,国际公布日为2024年6月20日。

专利详情如下:

图片来源:世界知识产权组织(WIPO)

今年以来中微公司已公布的国际专利申请7个,较去年同期增加了600%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了8.17亿元,同比增34.91%。

数据来源:企查查

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06-24 05:42

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