高测股份获得实用新型专利授权:“旋转载料台及晶棒加工系统”

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证券之星消息,根据企查查数据显示高测股份(688556)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“旋转载料台及晶棒加工系统”,专利申请号为CN202322308605.4,授权日为2024年5月10日。

专利摘要:本实用新型公开了一种旋转载料台及晶棒加工系统,旋转载料台包括旋转载料单元,旋转载料单元可在旋转载料台上转动,旋转载料单元上设置有多个晶棒夹持工位,每个晶棒夹持工位上设置有载料夹持装置,载料夹持装置用于提供或承接晶棒,通过控制旋转载料单元旋转,可对不同晶棒夹持工位进行位置转换,以便于在各个晶棒夹持工位上夹取或放置晶棒。本实用新型可以缩短晶棒加工系统的上下料时间节拍,提高晶棒加工系统的整体工作效率,且旋转载料台整体结构节凑,节省空间,减小了占地面积。

今年以来高测股份新获得专利授权111个,较去年同期增加了65.67%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了3.89亿元,同比增72.61%。

数据来源:企查查

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