咋说呢，如果这也算造出来，国内光刻机就已经泛滥了，国内缺的是先进制成前道光刻机，俄国搞的国内10年前就有了
1995年佳能就在销售FPA3000i4光刻机，支持4到8英寸的晶圆制造，分辨率达0.35μm，即350纳米
不过人家确实造出来了
中国的也出来了啊，已经在装机了，前几天有报道的，好像是28的
可否给大家解读一下？毕竟术业有专攻
看来你对这行完全不熟