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【上海光机所在EUV和软x射线首次实现结构涡旋光调控】近期,中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室张军勇副研究员联合哈尔滨工业大学赵永蓬教授课题组和上海理工大学詹其文教授课题组,首次完成EUV和软x射线的结构涡旋光调控与实验验证,为极紫外和软x射线波段的结构光刻、结构分束调控,和短波超分辨成像开辟了可行的技术途径。相关成果以“Producing focused extreme ultraviolet vortex with Fermat-spiral photon sieves”为题,发表于PhotoniX。

精彩讨论

-磐石-05-14 12:46

方向有了,那就好好做数据、早日定型做样机。

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05-14 12:46

方向有了,那就好好做数据、早日定型做样机。

05-14 13:52

光刻机已经造出来啦

05-14 15:03

张江高科又要暴跌了快跑

05-14 12:48

光刻机?

05-14 13:37

用软x射线波段做光刻机,是不是弯道超车?$张江高科(SH600895)$

05-14 16:13

x射线有放射性哦,这个要是做成光刻机,需要考虑放射性射线的防护了

能做的更小?

05-14 13:20

05-14 13:18

又是拆开了每个字都认识组合在一起完全不懂,谁能给个通俗的解释