【半导体设备股走强 广立微等多股大涨超5%】半导体设备股震荡走强，广立微、拓荆科技大涨8%，华海清科、中微公司涨超5%，北方华创、盛美上海、至纯科技等跟涨。中信证券研报指出，随着三星和SK海力士在华工厂成功获得“无限期豁免”，未来三星、SK海力士在华工厂将可以继续升级和扩产，原有的不确定性被大消除，外资Fab厂在华资本开支有望持续投入，驱动设备零部件订单向好，设备零部件企业有望受益。