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奥普光电:年底之前可完成高精度(±1um)光栅尺的正式样机】奥普光电7月22日在互动平台表示,公司在敞开式光栅尺的基础上,已开始高精度光栅刻划的研究工作,并完成了理论验证,预计在年底之前可完成高精度(±1um)光栅尺的正式样机;公司同时开展了超精尺的研发工作,尚处于原理样机开发阶段。

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2023-07-23 20:51

1000纳米的精度,用到euv也不为过。这进度也太快了吧!