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佳能纳米印刷技术获内存大厂力挺 产业链公司受关注】
美光公司计划率先支持佳能的纳米印刷技术,从而进一步降低生产DRAM存储芯片的单层成本。美光在近日演讲中表示,由于光学系统本身性质,DRAM层的图案很难用光学光刻技术进行印刷,而纳米打印方式可以用更精细的方式打印出来,且鉴于纳米印刷技术应用成本是沉浸式光刻技术的五分之一,因此是非常不错的解决方案。
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