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中国电科集成电路成套装备国产化集成及验证平台工程——楚微半导体科技股份有限公司项目进展顺利,或早于此前规划实现产线运行。


公司确保今年底整线工艺串通并实现首片晶圆下线,实现国内第一条集成电路装备验证工艺线在湖南运行。据悉,中国电子科技集团公司第四十八研究所致力于在半导体工艺设备与研发,在长沙市高新区成立了湖南楚微半导体科技有限公司。湖南楚微半导体科技有限公司实施8英寸线集成电路国产化设备集成及验证,并进行相关工艺产品规模制造,以整线工艺验证设备的模式替代过去的单机台验证模式,实现成套成体系国产化设备与工艺相结合。

项目总投资25 亿元,建设 8 英寸集成电路装备验证工艺线。据悉,该项目一期建成后将提供同时 20 台套设备在线的验证能力,年验证能力超 40 台。在此基础上,项目二期将进一步完善发展,形成 12 英寸集成电路装备的验证能力。项目原预计 2021 年竣工投产。