台积电单位产品用电量去年上升17.9%，而该公司拟定的目标为降低11.5%。台积电对此解释称，随着新制程技术与制程复杂度增加，新制程机台用电量上升，导致10纳米以下制程产品用电量较16纳米以上的制程倍增。