苏大维格:面对芯片晶体管线宽已趋近物理极限，以及EUV光刻机产能有限、成本高等问题，目前业界开始加强探索绕开EUV光刻机生产高端芯片的技术和工艺。SK海力士从佳能引进了纳米压印设备，目前正在进行测试，计划在2025年左右使用该设备开始量产3D NAND闪存，到目前为止的测试结果良好。与传统...