$阿斯麦(ASML)$
为什么说光刻机要把它理解成一个数学模型？
我讲一个小故事，这个故事在光刻巨人那本书里讲过。现在大家都知道光刻的镜片来自德国蔡司，蔡司这家公司最早可以追溯到19世纪50年代的蔡司家族企业，也就是1850年前后，当然老蔡司被人尊为是一个准时，手艺出色的老工匠。1863年的时候，德国耶拿大学的教授恩斯特阿贝，敲开蔡司的门，他需要定做几件光学仪器来做实验。以前的蔡司也就是一个小作坊水平，虽然很努力很认真的干活，但是受制于当时的技术条件，也就那样。所以阿贝发现，每次调整一块镜片之后会引起另外一块镜片的误差。于是阿贝就想了一个办法，他先单独计算每个镜片的误差，同时建立一个光学+数学的模型，把每一片镜片作为整个光学系统的一部分来考虑，建立一个产品基准线，然后再把这些有误差的镜片不同方法归类，再从中挑选一特定镜片来组成新的一组镜头，这样就能保证每一组镜头最终实际效果实在允许的误差范围内。这个思路一直贯彻了后面光刻技术的发展，到现在整个集成电流工艺也是，每一片硅片表面都是不同的，每次曝光和刻蚀之后，总有一些误差，你如何在不同的硅片，不同的工艺上，做到结果相同？？？同样你在光路上调整一个零部件，会不会引起另外一个零件的变化，如果只是一味的头痛医头，脚痛医脚，不解决问题，所以研发光刻机得按整个系统角度来定义每个细节，这就是我说的，光刻机的灵魂实质是一个庞大的数学模型，这也是光刻设备和其他普通工业设备最大的不同之处。
怪不得高考数学难度一直在提升！