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徐州博康是603306旗下国内少有能打通光刻胶上游材料的全产业链公司,旗下的光刻材料体系不断扩充,目前研发成果包含:
(1)近70款光刻胶单体,包含13款ArF光刻胶单体、2款KrF光刻胶单体;
(2)50多款光刻胶树脂,包括7款ArF树脂、6款高端KrF树脂;
(3)超过150款光敏剂,其中12款针对ArF光刻胶开发、10款针对高端KrF光刻胶开发。
同时,公司有多款高端光刻胶产品分别获得了国内12寸晶圆厂的相关订单。
(1)ArF光刻胶有26款产品,含ArF-immersion15款、ArF-dry11款,可应用于14-90nm制程节点;其中9款正在客户端进行产品验证导入量产,涵盖55nm、40nm、28nm及以下的LOGIC关键层工艺以及3DNAND,DRAM等应用领域;5款已形成销售。
(2)KrF光刻胶有30款产品:高分辨产品最小分辨率可达120nmCD,可应用于14nm-180nm制程;中厚胶主要为L/S,针对8-12寸抗刻蚀层;厚胶主要针对高深宽比及高台阶覆盖的应用;负胶主要针对IC端和器件类特殊工艺应用;20余款正在客户端进行产品验证导入量产,涵盖55nm、40nm、28nm及以下的关键层工艺以及存储器、分立器件、传感器等应用领域;15款已形成销售。
(3)I线光刻胶有19款产品,主要为化学放大型光刻胶,具有更高的分辨率、对比度和深宽比,10多款正在客户端进行产品验证导入量产,14款已形成销售。
(4)电子束光刻胶有PMMA体系、PHS、HSQ等3大种类在销
$华懋科技(SH603306)$ $容大感光(SZ300576)$ $张江高科(SH600895)$

全部讨论

2023-09-08 11:33

$华懋科技(SH603306)$ 是国内唯一掌握A胶和K胶生产工艺的企业,国内渗透率1%,国产替代最有想象力,同时也是华为哈勃投资投资的唯一一家光刻胶企业
$冠森科技(NQ873670)$ $张江高科(SH600895)$ @今日话题 @7X24快讯

2023-09-08 11:51

国内唯一能生产A胶的企业
国内唯一华为投资公司_哈勃投资投资的光刻胶企业,持股10%
$容大感光(SZ300576)$ $张江高科(SH600895)$ $冠石科技(SH605588)$ @今日话题 @7X24快讯

2023-09-08 22:30

A胶和K胶最有技术含量的票,国内最缺。奈何资金不认可

2023-09-08 12:10

资金不认可 涨不起来