【中国半导体产业图谱】 一一【半导体设备】：1、刻蚀机：北方华创、中微公司。2、光刻机：上微集团、华卓精科。3、PVD：北方华创。4、CVD：北方华创、中微公司、拓荆科技。5、离子注入：中科信、万业企业。6、炉管设备：北方华创、晶盛机电。7、检测设备...