CAE（计算机辅助工程）在半导体领域扮演着至关重要的角色，它主要涉及半导体设备与制造工艺的仿真。以下是对CAE在半导体领域的详细解析：一、CAE在半导体领域的应用背景随着半导体技术的飞速发展，芯片制造工艺不断逼近物理极限，如亚10nm尺度下的气体输运、化学反应以及宏观输运等问题...