证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种射频电极馈入装置及管式化学气相沉积设备”，专利申请号为CN202210900271.7，授权日为2024年6月7日。专利摘要：本发明提供了一种射频电极馈入装置及管式化学气相沉积设备，射频电极馈入装置包括：...